(주)SMI

디자인등록증 30-0492769호 (냉각수공급호스용 연결구)

실용신안등록증 20-0454189호 (화학기상 증착 장치)

특허 10-2373432호 (벽체 시공용 추락 예방 시설) (1)

특허 10-2303610호 (케미컬 공급시스템 및 그것의 제어 방법) (2)

특허 10-2127937호 (오존수공급시스템)

특허 10-2102811호 (오존수공급시스템)

특허 10-2061843호 (케미컬 공급 시스템)

특허 10-2053894호 (지르코니아 재질의 반도체 장비용 부품 및 이의 제조방법)

특허 10-1990995호 (진공챔버의 압력안정화장치)

특허 10-1931906호 (진고 증착설비의 타겟리프트장치)

디자인 30-0975190호 (공정가스 공급기 수납용 캐비닛)

특허 10-1899336호 (플렉시블 히터 및 그 플렉시블 히터의 가스 누출 감지 시스템)

특허 10-1891731호 (플렉시블 히터)

특허 10-1887327호 (반도체 제조설비용 가스공급장치)

디자인 30-0903818호 (유체분배기)