LDS
TCSS-300H Ex
| 항목 | 설명 |
|---|---|
| 모델명 |
TCSS-300H Ex |
| 리필방식 |
Refill from BCSS to TCSS |
| 장비크기 |
1200(W) x 880(D) x 2,250(H) |
| 공급라인 |
3~12 Stick |
| 잔량관리 |
Weight Scale, Canister Level Sensor |
| 적용가스 |
TEOS, TEB, TEPO등 |
| 저장용량 |
14L, 3.7GALLON (Bulk 14L, Process 14L) |
BCSS II 200L Ex (MASTER & SLAVE)
| 항목 | 설명 |
|---|---|
| 모델명 |
BCSS II 200L Ex (MASTER & SLAVE) |
| 리필방식 |
Bulk Master, Slave Auto Cross Over Supply |
| 장비크기 |
900(W) x 1,070(D) x 2,380(H) |
| 공급라인 |
최대 9 Stick |
| 잔량관리 |
Weight Scale, Canister Level Sensor |
| 적용가스 |
TEOS, TEB, TEPO등 |
| 저장용량 |
200L |
LCSS-200HD Ex
| 항목 | 설명 |
|---|---|
| 모델명 |
LCSS-200HD Ex |
| 리필방식 |
Bulk to Process |
| 장비크기 |
600(W) x 870(D) x 2,100(H) |
| 공급라인 |
최대 4 Stick |
| 잔량관리 |
Weight Scale, Canister Level Sensor |
| 적용가스 |
TiCl4, TDMAT, BPSG, OMCTS, DEMS, 4MS, 2NTE, Cyclohexane, MDEOS, ATRP, AM31,DiPAS |
| 저장용량 |
19L, 5GALLON (Bulk 19L, Process 19L) / 14L, 3.7GALLON (Bulk 14L, Process 14L) |