(주)SMI

특허 제10-1530612호 (히팅파이프의온도제어시스템)

특허 10-1126011호 (가요성에어히터)

특허 10-1075171호 (가스분사블록을 구비하는 사이드 스토리지)

특허 10-1075170호 (반도체 제조공정의 배기라인용 히팅파이프)

특허 10-1063752호 (화학기상 증착 장치의 샤워헤드)

특허 10-1025276호 (가요성 에어히터)

특허 10-1024533호 (반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법)

디자인등록증 30-0588136호 (배관용 이너히터)

특허 10-0920209호 (진공배관용 클램프)

특허 10-0841437호 (유체공급배관용 열차단장치)

디자인등록증 30-0492770호 (진공배관용 클램프)

특허 10-2094823호 (오존수공급시스템)