연혁

2020

  • 2022

    • 05건설업 등록(기계가스설비공사업)
  • 2021

    • 09특허 등록(케미컬공급시스템 및 그것의 제어방법)
    • 08CE인증(Temp Controller)
    • 06모범중소기업인 표창
  • 2020

    • 06특허등록 (오존수 공급 시스템 - 탱크 내부의 믹싱 노즐 파이프)
    • 04특허등록 (오존수 공급 시스템 - Side Stream 배관을 이용한 오존수 분사)
    • 03특허등록 (오존수 공급 시스템-기포발생기가 장착된 벤튜리 인젝터)
      기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ) 선정

2010

  • 2019

    • 12특허등록 (케미컬 공급 시스템)
      특허등록 (지르코니아 재질의 반도체 장비용 부품 및 이의 제조 방법)
  • 2018

    • 12특허등록 (진공 증착 설비의 타겟 리프트 장치)
    • 09디자인등록 (공정가스 공급기 수납용 캐비닛)
    • 08특허등록 (반도체 제조설비용 가스 공급 장치)
    • 05모범중소기업인 표창
  • 2017

    • 06방폭안전인증 (LCSS-200H)
      방폭안전인증 (LCSS-300H)
      방폭안전인증 (LCSS-200L)
    • 04디자인등록 (공정가스 공급기 수납용 캐비닛)
    • 02특허등록 (진공 증착 설비의 타겟 리프트 장치)
  • 2016

    • 12벤처활성화유공포상 표창
      무역업 고유번호 부여증 취득
      무역협회회원증 취득
    • 02Le Dong AMAT tool refurbishment 업무 협약 체결
    • 01SEMICON Korea 2016 참가업체
  • 2015

    • 08중국 지사 협약 체결 및 파견
    • 07Brazil FAB 신축 프로젝트 UNITEC/AG 업무 협약 체결
    • 06특허등록 (히팅 파이프의 온도제어 시스템)
  • 2014

    • 04HHGrace Refurbishment 업무 협약 체결 (2014부터-현재)
      HJ Refurbishment 업무 협약 체결
  • 2013

    • 12중소기업청장 기업가 표창
      신보스타기업 선정
    • 11중소기업기술혁신협회 회원 등록
    • 08관리감독자 안전보건교육 수료
    • 062JK 업무 협약 체결
    • 02Memsstar 업무 협약 체결
    • 01IBK기업은행 패밀리기업 선정
  • 2012

    • 11수출강소기업 지정
    • 10일류벤처기업 지정
    • 05Zhenbaotec 업무 협약 체결
    • 03특허등록 (가요성 에어히터)
    • 02ASUZAC 업무 협약 체결
  • 2011

    • 10특허등록 (가스분사블록을 구비하는 사이드 스토리지)
      특허등록 (반도체 제조공정의 배기라인용 히팅 파이프)
    • 09CLEAN 사업장 인정
      특허등록 (화학기상 증착 장치의 샤워헤드)
    • 06수출유망중소기업 지정
      실용신안등록 (화학기상 증착 장치)
    • 05On semi 지사 협약 체결
      기업부설연구소 인정
      기술혁신형 중소기업 (INNO-BIZ) 선정
    • 04벤처기업 인증
      공장 등록
    • 03Jhonston group 업무 협약 체결
      에스엠아이 본사 이전 입주 (송절동 → 옥산)
      특허등록 (반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법)
      특허등록 (가요성 에어히터)
    • 02디자인등록 (배관용 Inner Heater)

2000

  • 2009

    • 09특허등록 (진공배관용 클램프)
  • 2008

    • 08삼성전자 현업구매시스템 등록
    • 07I-Market Korea 등록 (삼성전자 및 반도체 부문)
    • 06신성홀딩스(태양전지)등록
      특허등록 (유체공급배관용 열 차단장치)
    • 05INNOBIZ 인증
      Samsung SDI 등록
    • 04LG화학 등록
  • 2007

    • 08ISO 환경인증 획득 (ISO 14001 : 2004)
    • 03법인전환 및 사명변경 : (주)에스엠아이
  • 2005

    • Magnachip반도체, LG SILTRON 등록
    • AMK, Novellus Korea, LAM Research, TEL Korea 등록
  • 2004

    • 07회사설립(대표 이형섭)
    • Hynix반도체, Nano Fab Center 등록