2020
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2022
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2021
- 09특허 등록(케미컬공급시스템 및 그것의 제어방법)
- 08CE인증(Temp Controller)
- 06모범중소기업인 표창
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2020
- 06특허등록 (오존수 공급 시스템 - 탱크 내부의 믹싱 노즐 파이프)
- 04특허등록 (오존수 공급 시스템 - Side Stream 배관을 이용한 오존수 분사)
- 03특허등록 (오존수 공급 시스템-기포발생기가 장착된 벤튜리 인젝터)
기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ) 선정
2010
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2019
- 12특허등록 (케미컬 공급 시스템)
특허등록 (지르코니아 재질의 반도체 장비용 부품 및 이의 제조 방법)
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2018
- 12특허등록 (진공 증착 설비의 타겟 리프트 장치)
- 09디자인등록 (공정가스 공급기 수납용 캐비닛)
- 08특허등록 (반도체 제조설비용 가스 공급 장치)
- 05모범중소기업인 표창
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2017
- 06방폭안전인증 (LCSS-200H)
방폭안전인증 (LCSS-300H)
방폭안전인증 (LCSS-200L)
- 04디자인등록 (공정가스 공급기 수납용 캐비닛)
- 02특허등록 (진공 증착 설비의 타겟 리프트 장치)
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2016
- 12벤처활성화유공포상 표창
무역업 고유번호 부여증 취득
무역협회회원증 취득
- 02Le Dong AMAT tool refurbishment 업무 협약 체결
- 01SEMICON Korea 2016 참가업체
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2015
- 08중국 지사 협약 체결 및 파견
- 07Brazil FAB 신축 프로젝트 UNITEC/AG 업무 협약 체결
- 06특허등록 (히팅 파이프의 온도제어 시스템)
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2014
- 04HHGrace Refurbishment 업무 협약 체결 (2014부터-현재)
HJ Refurbishment 업무 협약 체결
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2013
- 12중소기업청장 기업가 표창
신보스타기업 선정
- 11중소기업기술혁신협회 회원 등록
- 08관리감독자 안전보건교육 수료
- 062JK 업무 협약 체결
- 02Memsstar 업무 협약 체결
- 01IBK기업은행 패밀리기업 선정
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2012
- 11수출강소기업 지정
- 10일류벤처기업 지정
- 05Zhenbaotec 업무 협약 체결
- 03특허등록 (가요성 에어히터)
- 02ASUZAC 업무 협약 체결
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2011
- 10특허등록 (가스분사블록을 구비하는 사이드 스토리지)
특허등록 (반도체 제조공정의 배기라인용 히팅 파이프)
- 09CLEAN 사업장 인정
특허등록 (화학기상 증착 장치의 샤워헤드)
- 06수출유망중소기업 지정
실용신안등록 (화학기상 증착 장치)
- 05On semi 지사 협약 체결
기업부설연구소 인정
기술혁신형 중소기업 (INNO-BIZ) 선정
- 04벤처기업 인증
공장 등록
- 03Jhonston group 업무 협약 체결
에스엠아이 본사 이전 입주 (송절동 → 옥산)
특허등록 (반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법)
특허등록 (가요성 에어히터)
- 02디자인등록 (배관용 Inner Heater)
2000
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2009
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2008
- 08삼성전자 현업구매시스템 등록
- 07I-Market Korea 등록 (삼성전자 및 반도체 부문)
- 06신성홀딩스(태양전지)등록
특허등록 (유체공급배관용 열 차단장치)
- 05INNOBIZ 인증
Samsung SDI 등록
- 04LG화학 등록
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2007
- 08ISO 환경인증 획득 (ISO 14001 : 2004)
- 03법인전환 및 사명변경 : (주)에스엠아이
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2005
- Magnachip반도체, LG SILTRON 등록
- AMK, Novellus Korea, LAM Research, TEL Korea 등록
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2004
- 07회사설립(대표 이형섭)
- Hynix반도체, Nano Fab Center 등록