REPAIR
TEMP CONTROLLER
| 장비 | 공정 | OEM P/N |
|---|---|---|
|
AMAT DPS 300mm |
ETCH |
0190-26495 |
AMAT MESA LID HEATER
| Part Number | 품명 | 적용장비 | 개선효과 |
|---|---|---|---|
|
0190-30401 |
MESA Lid Heater |
AMAT MINOS |
Arcing 및 내구성 향상 |
| 항목 | Before | After | 세부개선내용 |
|---|---|---|---|
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Heater 연결 Cable |
내전압 400V |
내전압 1200V |
강화 Cable 적용으로 Arcing 개선 |
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고정 Pin (날개 부분 사이) |
有 |
無 |
절연층 강화 |
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Gas Block Heater 연결 Cable |
有 |
無 |
Arcing 개선 (열선 배열 변경) |
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Gas Line 통과 부위 Aluminum 형태 |
2 Ply |
1 Ply |
내구성 향상 |
DPS VALVE
| 장비 | 공정 | OEM P/N | Description | |
|---|---|---|---|---|
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AMAT DPS 300mm |
ETCH |
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In-Line Valve |
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AMAT DPS 300mm |
ETCH |
0190-23498 |
Turbo Isolation Valve |
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AMAT DPS 300mm |
ETCH |
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Manometer Valve |
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TEL TRIAS300mm |
PVD |
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Butterfly Valve |
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Novellus Vector 300mm |
ETCH |
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Throttle Valve |
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