제품소개
Parts Localized
Parts Localized
| 국산화 Parts | 적용장비 | 공정 | OEM P/N |
|---|---|---|---|
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TCP |
LAM 300mm FLEX, FLEX45, KIYO |
Etch |
853-017892-201(7.1KW) |
HIGH GAP HANGER
SMI : 713-037072-003
Low GAP HANGER
SMI : 713-037069-003
NUT HANGER
SMI : 839-039317-003
PAD WASHER SPACER
SMI : 713-034965-001
D-WASHER
SMI : 713-034964-001
SLEEVE
SMI : 713-027299-002
WASHER FLAT Confiment Ring
713-040539-001(Z)| 구분 | 내용 |
|---|---|
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제품명 |
LAM Zirconia Part |
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재질 |
PEEK → Zirconia |
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적용 |
LAM ETCH |
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REV |
PEEK 에서 ZIRCONIA 로 재질 변경 |
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주납품처 |
SK-Hynix, UMC, Micron 등 |
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제품설명 |
SKHYNIX ETCH LAM 설비에 들어가는 PART 구성품으로 기존 재질이 PEEK 였던것을 Zirconia 재질 변경하여 사용 주기 연장 및 일부 품목은 반영구적 사용으로 개선됨 |
CONDUCTOR, BIAS
300MM, HDPCVD, ULTIMA
(I)SKT, PLASMA SNSR
715-038611-002
(A)QTZ PIN_PIN, ALIGN, UPR
ELCTD, 300MM_
ASSY, STUD, SOCKET.300MM;
P/N : 839-070842-004
I*)ESC WATER
MANIFOLD(ULTEM)_ULTIMA
ACCESSORY_FACE SEAL
GAS INJCTR(2300 POLY)
(I)LIFT PIN HOLDER HOUSING
LPHH-0101
(I)LIFT PIN HOLDER BASE
LPHB-0101| Description | 적용 | Vendor P/N | SAP N/O | Business Start | Installation |
|---|---|---|---|---|---|
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300mm Robot Blade |
YASKAWA, BROOKS KAWASAKI, PSK |
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Since 2011 |
SK하이닉스 |
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Background & Development |
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1. OEM Parts 대비 비용 절감 및 납기 개선 효과 |
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KAWASAKI OLD TYPE
KAWASAKI NEW TYPE
PSK SUPRA3 BLADE
YASKAWA BLADE
Flatness Test w/o wafer
Flatness Test w/o wafer
Sensor Test
Pad 규격 Test
| Part Number | 품명 | 적용장비 | 개선효과 |
|---|---|---|---|
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678-031432-004 |
Temerature Control Ring |
LAM KIYO Poly KIYO45 |
Arcing 및 내구성 향상 |
| Before | After | 세부개선내용 |
|---|---|---|
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SUS 재질 Pattern Heater Film Pattern Heater가 Aluminum Plate 사이에서 잦은 Arcing 발생 : 물질간의 열팽창 계수 차이, 잦은 조작, Resin(Silicon 또는 Epoxy) 떨어짐 등 유발 時 간격 발생으로 Arcing 발생의 주된 원인 |
Ni_Cr 재질 Wire Heater Ni_Cr Wire를 Aluminum Plate Body 내에 삽입하여 간격이 발생하더라도 Arcing이 발생되지 않는 구조로 제작 실시. 또한 Pattern Heater보다 내구성이 있는 열선 Type의 Heater를 사용 |
Arcing 감소 및 Film Heater Fail 발생 방지, Heater Life Time 향상, 내구성 향상 등 |
| 장비 | 공정 | OEM P/N |
|---|---|---|
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LAM FLEX 300mm |
ETCH |
715-009191-001 |